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notch:凹口
被拉高的矽晶柱的外周研磨及定向平面部位的加工作业以碗形金刚石磨轮来进行. 凹口(NOTCH)用的沟矽晶圆外周的倒角加工以金属结合剂磨轮来进行. 而大口径晶圆的凹口(NOTCH)部位的精加工则采用小口径
notch:凹口
被拉高的矽晶柱的外周研磨及定向平面部位的加工作业以碗形金刚石磨轮来进行. 凹口(NOTCH)用的沟矽晶圆外周的倒角加工以金属结合剂磨轮来进行. 而大口径晶圆的凹口(NOTCH)部位的精加工则采用小口径