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jordan matrix:约当矩阵
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jordan measurable:约当可测的
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jordan measure:约当测度
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thin-film technology:薄膜技术
薄膜针测卡(Membrane Probe Card)是采用薄膜技术(Thin Film technology)制成. 薄膜制程技术可参阅图二:薄膜针测片之制程,我在此简单的描述一下:开始是先选用一片1mm厚的铝板当基板(substrate),抛光后布上一层厚约25mm之Polyimide,