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The invention provides a method of decreasing big pattern hollow during metal and polysilicon chemical and mechanical rubbing, it mainly uses photoetching and etching technique, combining decorated chemical and mechanical rubbing method, avoids big pattern hollow when metal and polysilicon is rubbed.
本发明提供一种在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法，主要通过以光刻和蚀刻技术结合修饰性化学机械研磨的方法，避免对大图案的金属或者多晶硅进行研磨时出现过度凹陷。
- 更多网络解释与研磨过度相关的网络解释 [注：此内容来源于网络，仅供参考]
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overgraze：超载放牧
overgraining 过度粒化 | overgraze 超载放牧 | overgrinding 研磨过度
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overgrow：生长过度
overground 地上的;研磨过度的 | overgrow 生长过度 | overgrowth fault 超生断层
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"Overmatch：强者
overmastication 过度研磨 | overmatch 强者 | overmatter 留在下期刊载的稿件
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Overground：地上的;研磨过度的
overground cable 架空电缆 | overground 地上的;研磨过度的 | overgrow 生长过度
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overground cable：架空电缆
overgauge 大于标准 | overground cable 架空电缆 | overground 地上的;研磨过度的
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overmature：过熟;过熟的(果实)
overmaturation过熟 | overmature过熟;过熟的(果实) | overmill过度捏和;研磨过度
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overmelt：熔炼过度
overmastication过度研磨 | overmelt熔炼过度 | overnight shift夜班、通宵班
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overmill：过度捏和;研磨过度
overmature过熟;过熟的(果实) | overmill过度捏和;研磨过度 | overmix拌和过度
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overmix：拌和过度
overmill过度捏和;研磨过度 | overmix拌和过度 | overmodulation调制过度