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photolithographic:光刻法的
photokymograph 记录照相机 | photolithographic 光刻法的 | photolithography 影印石版术
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photolithography:影印石版术
即用制作电晶体或积体线路等所需之标准影印石版术(photolithography)制成. 在按照需要所选定之材料上,依所欲的方向予以割切. 然后加以磨平,使成平滑的基板. 磨平的程度视需要而定. 一般说来,元件之频率愈高,基板表面之容许粗糙程度(roughness)愈小.