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This paper theoretically studies the design of the negative coefficient fourfold differential circuit formed by single operational amplifier.
从理论上研究了单块集成运算放大器构成的负系数四次微分电路的设计，着重分析了该电路的直流误差，并给出了电路的设计公式。
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The invention discloses a method to integrate single CMOS with bulk silicon microelectromechanical system, its technical project: 1 forming isolating groove: adopting deep-groove etching, and SiO2 and polycrystal silicon filling to realize the insulation of MEMS structure and CMOS circuit; 2 making standard CMOS circuit; 3 using SiO2 and Si3N4 as mask, etching silicon on the back until exposing SiO2 at the bottom of the isolating groove, to complete the thickness control for MEMS silicon structure layer; 4 completing metalizing the CMOS circuit and masking the MEMS structure: MEMS structure region uses Al as mask and CMOS circuit region uses thick photoetching glue as mask, using DRIE to release silicon structure.
本发明公开了一种将单片CMOS与体硅微机械系统集成的方法，其技术方案为：1形成隔离槽：采用深槽刻蚀，SiO 2 和多晶硅填充，实现MEMS结构和CMOS电路的绝缘；2完成隔离槽后进行标准CMOS电路的加工；3用SiO 2 和Si 3 N 4 作掩膜，从背面腐蚀硅，直至暴露出隔离槽底部的SiO 2 ，完成MEMS硅结构层的厚度控制；4完成CMOS电路金属化和MEMS结构掩膜：MEMS结构区用铝作掩膜，CMOS电路区用厚光刻胶作掩膜，用DRIE释放硅结构。用本发明方法不仅获得了较大的质量块，而且用本发明较高的深宽比制作出的结构电容，同时实现了体硅微机械与CMOS电路的集成，显著提高MEMS传感器的精度和稳定性，具有前沿性和重要实用价值。
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Knob：钮
单块效果器,观上去十分简单,只有区区几个旋钮(KNOB),一个踏板,方方正正的,比较不显眼. 但由于他是直接通过电路改变讯号,所以音质肯定是没得说. 但是,单块效果器只有通过互相配合才能产生无比震撼的音色,所以,如果想得到一种音色,
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monolithic circuit：单块电路
monolayer 单层 | monolithic circuit 单块电路 | monolithic construction 整体建造
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monolithic circuit：单块电路,单片电路
monolithic | 单块,单片 | monolithic circuit | 单块电路,单片电路 | monolithic hybrid circuit | 单片混合电路