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We used ITO glass substrate and high purity（99.99%） titanium , put to use sputtering process, add to high purity O2 make it complete the best structure film and the thickness about 1400 . By way of 500℃ anneal could got a better anatase phase, this result could easy reaction with electrolyte to increase electron-transferred. Used as spin casting covering PR on ITO substrate, transferring patterns of array circular shapes on a mask to photography, used optimize temperature and time to hard bake. Finally used HCl to etching underexposed TiO2 area, and acetone to tripper top PR, make it to accomplish pillars shape TiO2 electrode.
本研究使用ITO玻璃基板为底材在以高纯度钛(99.99%)为靶材，利用溅镀方式通入纯氧使其行成高纯度TiO2镀於ITO基板上行成厚度约1400的薄膜，且经500℃高温烧结使其行成最强的锐钛矿结晶相，此晶相有利於与电解液反应进而增加电子的转移，提升太阳能电池最佳的效率，在以旋转涂布方式铺上光阻，以矩阵排列的圆孔光罩曝光、最佳的温度及时间来烘烤、显影后；使用盐酸以等向性湿蚀刻方式蚀刻未曝光之TiO2区域，最后利用鈵铜将最上层光阻去除，使其行成柱状TiO2的电极。
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Proportionate：使成比例
使成斑驳variegate | 使成比例proportionate | 使成玻璃状vitrify
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vitrify：使成玻璃状
vitrified 玻璃化的 | vitrify 使成玻璃状 | vitrine 玻璃柜
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vitrine：玻璃柜
vitrify 使成玻璃状 | vitrine 玻璃柜 | vitrinertite 微镜惰煤