- 拼写相近单词
- lithographically
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The PolyE SiGe HBT needs only 6 lithographical steps and cancels the growth of the thick emitter epitaxy layer,both of which show great potential for volume production.
多晶发射极可进一步提供直流和射频性能的折衷，该工艺总共只有6步光刻，与CMOS工艺兼容且无需发射极外延层的生长，这些优点使其适合于商业化生产。