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网络解释

金刚石锯

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ingot

铸块

伴随铸块(Ingot)尺寸的增加以及切削难度的加大,由铸块加工晶圆时,使用线锯(Wire Sow)成为主流. 一般采用线锯的加工是,一边向循环或者单方向的钢琴丝持续添加包括金刚石、氧化铝等磨粒在内的研磨剂(Slurry),一边进行切割(游离磨粒工艺).

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