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误差限度

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pellicle

表膜

并且通过线&空间1.01.5μm的图案识别功能,可以把检测误差抑制在最低限度. 可直接观察玻璃(Glass)面和图案(Pattern)面. 带表膜(Pellicle)或者没有表膜的光掩模图案(Pattern)面:0.35μm玻璃(Glass)面:5.0μm表膜(Pellicle)面:10.0μm

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make sb. do sth.(be made sb.to do sth:使某人做某事

be made for each other 有利于,倾向于 | make sb. do sth.(be made sb.to do sth.)使某人做某事 | to make a speech 做报告.