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表面电阻

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stacking fault

层错

其目的在于原位(in-situ)去除硅片表面的自然氧化层和其他杂质,为后续的外延沉考查外延层的扩展电阻率曲线(SRP)以确定是否有污染存在及污染物杂质的量. 滑移线(slip line), 堆跺层错(stacking fault) 和穿刺(spike),这些缺陷的

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