衍射
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diffraction grating
衍射光栅
给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列不同周期、开口比和深度的高质量深刻...衍射光栅 衍射光栅 (diffraction grating) 一种由密集﹑等间距平行刻线构成的光学器件.
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