蚀刻
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sputtered dielectric film
溅射介质薄膜
sputter etching 溅射蚀刻 | sputtered dielectric film 溅射介质薄膜 | sputtered film 溅射薄膜
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Tenting
盖孔法
前者当初系以镀金、镀锡铅再经蚀刻方式为主,然因产生总浮空(Overhang)等问题,陆续有使用干膜(Dry Film)的盖孔法(Tenting) 或塞孔法出现. 1980年代后半,利用电着光阻的析出方式(Electro-Deposited Process;ED法)成功被开发,
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acid ester
酸酯
acid elevator 升酸器 | acid ester 酸酯 | acid etching machine 酸性蚀刻机
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Mirror Etching镜面蚀刻, | Elevator Car 电梯罐笼 | Light curtain光幕保护
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