薄膜压力计
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zero drift
零点漂移
电容式压力计零点漂移(zero drift)的现象可视为在量测真空时,薄膜位置的起始位置与外在讯号解析时的差异所引起. 许多因素都会引起电容压力计的零点漂移:腐蚀、薄膜的化学或离子侵蚀、薄膜上的材料沉积、温度变异以及由真空至大气压力的重复循环过程.
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membranous pump
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