离子注入机
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implanter
离子注入机
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离子注入机
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离子注入氧化物
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LG
长度
锥形角阴影效应会形成非对称性晶体管,从而限制栅极长度(Lg)的微缩,高转速转盘的转动则会导致粒子(particle)引起的多晶硅结构失效. 但是通过扫描式单晶片离子注入机1-D离子束机械扫描和较高分子量掺杂材料(B10H14或B18H22)的使用,
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