盘
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chuck
卡盘
一种测量RDS(on)的典型方法是在卡盘(Chuck)和接触晶圆顶部的探针之间产生电流. 另一种方法是在晶圆的背面使用探针来代替卡盘. 这种方法可以精确到2.5mΩ. 有限元分析(FEA)软件可以用来为测量结构建模.
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Chucker
卡盘车床
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