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电阻高温计

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電阻[式]電爐

电阻位降 electric resistance drop | 电阻式电炉 electric resistance furnace | 电阻高温计 electric resistance pyrometer

electropositive metal

陽電形金屬

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pyrometer

高温计

RadiancePlus采用高温计(Pyrometer) 和晶圆放射率(Emissivity)来测定温度. 高温计利用光感测组件吸收晶圆所发出的光谱,造成电阻或电压之变化而间接计算晶圆的温度. 晶圆发射的光谱,除了温度影响外,更大的影响因素是其放射率.

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电阻高温计

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电阻式高温计

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resistance pyrometer

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recording rain gauge

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电阻高温计

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