电子束
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厄克勒斯 约
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scanning electron microscope
扫描电子显微镜
根据电子束作用于样品的方式的不同及成像原理的差异,现代电子显微镜已发展形成了许多种类型,目前最常用的是透射电子显微镜(transmission electron microscope)和扫描电子显微镜(scanning electron microscope),前者总放大倍数可在1000~1000000倍范围内变化,
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scanning electron microscope
扫描式电子显微镜
EBL由於采用扫描式电子显微镜(scanning electron microscope)运作的原理,不需任何光罩就可以用来定义图形,也就是利用电子束直接将图形「写」在已经涂布过光阻的晶元上.
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