焦圆
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carrot
屑
CICA61组合使用了在纵向观察中突出较强的共焦光学系统及微小差异进行观察的差分干涉测量法,可高精度检测表面凹陷、堆垛层错(StackingFault)及碎屑(Carrot)等晶圆表面较浅的凹陷形状缺陷.
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circle of least confusion
最小模糊圆
sagittal focal line 弧矢焦线 | circle of least confusion 最小模糊圆 | anastigmat 消象散透镜
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共焦二次曲线族
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焦圆
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