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溅射

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直列式离子溅射

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溅射

在讲座中,郑教授首先讲述了超导、铁电和庞磁阻等钙钛矿过渡金属氧化物薄膜的物理基础和研究意义,介绍了国内外超导材料尤其是超导薄膜材料的研究进展和应用方向等基本情况,综述了如脉冲激光沉积(PLD)、溅射(sputtering)、分子束外延(MBE)等各种先进的超导薄膜制备方法,

sputtering

溅射法

纳米复合薄膜的制备方法是多种多样的,一般来说,只要把制备常规薄膜的方法进行适当的改进,控制必要的参数就可以获得纳米复合薄膜,比较常见的制备方法有等离子体化学气相沉积技术(PCVD)、溶胶-凝胶法(sol-gel)和溅射法(Sputtering)热分解化学气相沉积

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