液态氮
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vaporizer
蒸发器
1)液氮储罐,用槽车定期进行充灌,高压的液态气体经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态后,供工厂使用. 一般的半导体工厂用气量适中时这种方式较为合适,这也是目前采用最多的一种方式. 2)采用空分装置现场制氮. 这适用于N2用量很大的场合.
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liquid overfill protection
液体过量冲注保
liquid nitrogen 液体氮 | liquid overfill protection 液体过量冲注保 | liquid oxygen generator 液态氧发生器
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container; pressuring
加压容器
液态氮容器 container; liquid nitrogen | 加压容器 container; pressuring | 加压容器 container; pressurized
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vaporized chemical
气化剂
vaporization 蒸发 | vaporized chemical 气化剂 | vaporized liquid nitrogen 气化液态氮
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DIPS：蘸汁
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