槽

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除了控制临界尺寸外,减少"闸氧化凹槽(Recess)"也是一个关键要求,闸氧化凹槽在3nm以下被认为是可接受的. 晶体管结的调整是一个非常复杂的课题,要求对结深度、面电阻和侧壁断裂等参数同时进行最佳化,而每个参数在决定晶体管短信道性能方面都扮演着关键角色.

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tweedle dumber：这个看不懂,有什么寓意吗

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