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显影

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解毒;去除污染

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detritus feeder

食腐质生物,食碎屑生物

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developing tank

展开槽

developing solvent 展开剂 | developing tank 展开槽 | development folder 显影

application development system

应用发展系统

Application Development 应用开发 | Application Development System 应用发展系统 | activator development 活化剂显影

di

abbr. development inhibitor; 显影抑制剂

-1

self diagnostics

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diameter

孔径

均需要透过黄光显影与蚀刻步骤形成Via,目前则以深反应离子蚀刻(Deep Reactive Ion Etching;DRIE)技术为主,Via孔径(Diameter)多在20μm以下,受限目前技术孔径 ...3-3 后制程步骤与结果 依据MEMS元件在CMOS标准制程中制作的先后顺 序分类,

Diffraction mottle

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discharged bill

付讫票据

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discretization

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