折射系数
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热膨胀系数
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复折射系数法
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波浪折射系数
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折射系数
本发明涉及一种阻挡氢离子渗透的金属层间介电层的制造方法,该方法形成一折射系数(refractive index)为1.6-1.64的第一富硅氧化层于一填充氧化层上,然后再形成一折射系数为1.49-1.55的第二富硅氧化层于该第一富硅氧化层上.
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