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反应自诱导

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delay

延迟

"推动"(boost)或"延迟"(delay)参数的工具,也可以在参数渐增过程中逐步采用. 自Bosch交换式工艺商业问市以来,从简单的诱导式电感耦合等离子(ICP)刻蚀系统开始被应用,到目前最新的深层反应离子刻蚀(DRIE)系统,己经有了相当多的演变发展.

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