凹的
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Concave utility function
凹型效用函數
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recess
凹槽
除了控制临界尺寸外,减少"闸氧化凹槽(Recess)"也是一个关键要求,闸氧化凹槽在3nm以下被认为是可接受的. 晶体管结的调整是一个非常复杂的课题,要求对结深度、面电阻和侧壁断裂等参数同时进行最佳化,而每个参数在决定晶体管短信道性能方面都扮演着关键角色.
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凹向上的
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