光刻的
- 与 光刻的 相关的网络解释 [注:此内容来源于网络,仅供参考]
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adherence
粘附性
e,粘附性(Adherence).表征光刻胶粘着于衬底的强度.光刻胶的粘 附性不足会导致硅片表面的图形变形.光刻胶的粘附性必须经受住后续工艺(刻蚀,离子注入等).
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PAC
感光化合物
IC制造中所用光刻胶通常有三种成分:树脂或基体材料、感光化合物(PAC)以及可控制光刻胶机械性能(基体粘滞性)并使其保持液体状态的溶剂 [4]. 正性光刻胶中,PAC在曝光前后发生了从抑制剂到感光增强剂的变化. PAC能抑制树脂溶解,
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Reticle
刻线
此外,不仅设计技术不会直接转移至光罩上,光罩刻线(reticle)的形状与刻印在晶圆上的电路也会有所差异,让光罩检验的工作面临严苛的挑战. Numerical的Virtual Stepper软件可支持仿真式的光罩检验作业,能仿真硅组件在光罩以特定蚀刻条件蚀刻后所产生的结果,
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scaled geometry
按比例缩小的几何尺寸
scaled down lithography 按比例缩小光刻技术 | scaled geometry 按比例缩小的几何尺寸 | scaled integrated circuit 按比例缩小的集成电路
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selectivity
选择比
反应离子刻蚀技术的原理刻蚀精度主要是用保真度(Profile)、选择比(Selectivity)、均匀性(Uniformity)等参数来衡量. 所谓保真度度,就是要求把光刻胶的图形转移到其下的薄膜上,即希望只刻蚀所要刻蚀的薄膜,而对其上的掩膜和其下的衬底没有刻蚀.
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Polishing etches
抛光蚀刻
Polishing抛光 | Polishing etches抛光蚀刻 | Polycrystalline多晶的
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pull weekend gigs as a driver
周末兼职司机的外快
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electron linac
的例句
电子束光刻:electron lithographic | electron linac的例句: | electron linac的全文例句:
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