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低氧化物

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low thermal budget oxides 低温堆积氧化物 | low-resistance interconnection低电阻率连接 | Low-temperature process低温处理

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本发明提供一种改善由MOSFET的栅极绝缘膜或存储设备中的电容的电极间绝缘膜所含有的碳、低氧化物(suboxide)、悬挂键(danglingbond)等引起的特性恶化,提高绝缘膜的特性的方法.

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subornation 收买 | suboxide 低值氧化物 | subpena 传票

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suboxide 低氧化物 | subcarbide 低碳化物 | subchloride 低氯化物

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