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介电常数

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amorphous carbon

非晶碳

王清帆;郑丰绪;陈振隆 本发明揭示一种低介电常数介电质层的蚀刻方法,包括下列步骤:提供一基板,上述基板具有一低介电常数介电质层;于上述低介电常数介电质层上形成一非晶碳(amorphous carbon)植入层;于上述非晶碳植入层上形成一阻剂层;

CMP

(化学机械研磨)制程

其中关键性制程包括有:低介电常数介电膜之乾式蚀刻及清洗制程、溅镀填充铜扩散阻障层及电镀铜晶种层、铜电镀制程以及铜化学机械研磨制程(CMP). #F#图二:以0.18微米元件线幅之五层铜/低介电常数介电膜导线结构之示意图.

dielectric loss

介电损耗

然而你想测紫外频率(UV)下的性能,那么很抱歉,介电常数肯定很小. 还有一点要说的是,在每种机制下,介电损耗(dielectric loss)是不可避免的. 没有这部分能量,也就没有这些机制的产生了,但是我们要应该把它降到最低.

dielectric loss constant

介电损耗常数

介电损耗因子 dielectric dissipation factor | 介电损耗常数 dielectric loss constant | 介电弛豫时间 dielectric relaxation time

ring mandrel

介指铁

介电常数;电容率 permittivity | 介指铁 ring mandrel | 介稳态的;亚稳态的 metastable

Relative Dielectric Permittivity

相对介电常数

居里温度 Curie Temperature | 相对介电常数 Relative Dielectric Permittivity | 损耗系数 Dissipation Factor

condensive reactance condensance

容[电]抗

容抗 condensive reactance | 容[电]抗 condensive reactance condensance | 介电常数 condensivity

elastivity

倒介电常数

elasticizer | 致弹剂,增塑剂 | elastivity | 倒介电常数 | elasto-plastic bending | 弹塑性弯曲

elastivity

介电常数的倒数

elasticwasher 弹性垫圈 | elastivity 介电常数的倒数 | elasto-plasticplate 弹塑性板

me tastable

介稳态的;亚稳态的

介电常数;电容率 perm ittivity | 介稳态的;亚稳态的 me tastable | 内力 internal force

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