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相对介电常数

唯一公布的是high-k材料的相对介电常数(Relative Permittivity)为25~35. 其特点不在于采用的材料,而在于将high-k材料和金属栅电极组合在一起的工艺技术. 要想应用high-k材料,必须克服阀值电流增加和电子迁移率下降的问题.

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