一氮化硼
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一氮化硼
此次开发成功的低介电率膜使用一氮化硼(Borazon)化合物的改良材料. 一氮化硼由硼(B)和氮(N)组成,采用类似苯环的结构(图2). 并未置换硼中结合的氢(H),而是置换了某些化合物. 将该硼类化合物作为层间绝缘膜使用时,
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